化学的にエッチングされた薄いシリコンダイヤフラムの表面に埋め込まれたピエゾ抵抗体で構成される検出素子があり、出力される電気信号が圧力に比例して変化します。微小検出素子の採用により性能、信頼性及び精度の向上を実現しており、多くのポート形状および出力オプションと電気接続オプションが提供可能です。